Линник МИИ-4М микроинтерферометрі жарықтың қос сәулелік интерференциясы әдісіне негізделген объектілер бетінің микрогеометриясының кескінін алуға арналған.
Интерференциялық заңдылықты ақ және монохроматикалық жарықта да байқауға болады.
Жылтыратылған және өңделген беттердің кедір-бұдырлық параметрлерін, сондай-ақ пленкалардың қалыңдығын (пленканың шетінен пайда болған жиектердің биіктігі бойынша) өлшеу бұрандалы көз микрометрі MOV-1-16x немесе фотоэлектрлік көз микрометрі ФОМ-2-16x көмегімен жүзеге асырылады. өлшеу нәтижелерін автоматты түрде өңдеу.
Микроинтерферометрдегі жарық көзі ретінде интерференциялық жолақтардың ең жақсы контрастын және жарықтығын, сондай-ақ әдістің жоғары сезімталдығын және интерференциялық үлгінің тұрақтылығын қамтамасыз ететін ақ жарық диодты пайдаланады.
Микроинтерферометр машина жасау өнеркәсібінің зертханаларында және беттердің сапасына қатысты ғылыми-зерттеу институттарында қолданылады.
Техникалық сипаттамалар:
Кедір-бұдырлық параметрлерін өлшеу диапазоны Rmax, Rz және пленкалардың қалыңдығы, мм |
0,0001 – 0,0008 |
Микроскоптың көрінетін үлкейтуі, есе |
500 |
Көрнекі қондырма |
монокулярлы |
Окулярлық тубустың еңкею бұрышы, град |
45 |
Окулярдың көрінетін ұлғаюы, есе |
15 |
Нысан кеңістігіндегі сызықтық көру өрісі, мм |
0,3 |
Заттық үстелді жылжыту, мм |
0 - 10 бойлық және көлденең бағытта, үстелдің айналуы |
Үстелдің микрометрикалық бұрандаларының барабандарының шкалаларын бөлу бағасы, мм |
0,005 |
Фокустау механизмінің микрометрлік бұрандасының барабан шкаласын бөлу бағасы, мм |
0,002 |
Жарықтандыру |
ақ немесе монохроматикалық жарықпен |
Жарық көзі |
жарық диодты ақ жарқыл |
Бұрандалы окулярлық микрометр (МОВ-1-16), көрінетін ұлғаю, есе |
16 |
Қуат көзі |
кернеуі 220 В, жиілігі 50 Гц айнымалы ток желісі үстелдік қоректендіру блогы арқылы |
Габариттік өлшемдері, артық емес, мм |
300х300х420 |
Салмағы, артық емес, кг |
30 |
Қосымша жабдық:
· Фотоэлектрлік окулярлық микрометр ФОМ-2-16х